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1200V全垂直硅基氮化镓MOSFET

1200V全垂直硅基氮化镓MOSFET

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近日,华为&山东大学联合报道了报道了应用氟注入终端结构的1200V全垂直Si基GaN沟槽MOSFET(FIT-MOS),氟注入终端FIT区域固有的具有负性电荷成为阻性区域,天然的隔离器件,取代了传统的mesa刻蚀终端(MET),消除了mesa边缘的电场集中效应,从而将FIT-MOS的BV从MET-MOS的567V提升到1277V。此外,所制造的FIT-MOS表现出3.3V的Vth,ON/OFF为达到了1e7,Ron,sp为5.6mΩ·cm2。这些结果表明,具有很好的性价比的Si基GaN垂直晶体管在kV级应用中具有很大的潜力。相关成果以《1200VFully-VerticalGaN-on-SiPowerMOSFET》为题发表在《IEEEElectronDeviceLetters》上。

标题:1200VFully-VerticalGaN-on-SiPowerMOSFET

氮化镓沟槽MOSFET的结构示意图和(b)横截面扫描电子显微镜(SEM)图像(沟槽栅极区域)。

S的NPN型外延结构的横截面以及SIMS

在VDS=10V时FIT-MOS的转移特性曲线。FIT-MOS表现出Vth=3.3V(IDS=1A/cm2),ON/OFF为1e7。而FIT-MOS的输出特性曲线则是揭示了8kA/cm2的高导通电流密度。FIT-MOS展示出了相对低的Ron,sp,经过曲线线性区域计算得到5.6mΩ·cm2。

而FIT-MOS和MET-MOS的阻断击穿特性比较可以知道,FIT-MOS具有1277V的高击穿电压,而MET-MOS则是在567V就已经发生击穿。而且击穿前器件的IGSS都保持在1e-6A/cm2以下,则是表明了栅介质叠层在高VDS下具有出色的稳定性。但是,因FIT-MOS具有额外的垂直漏电流路径,则其在低VDS下表现出了比MET-MOS更大的阻断漏电流。这可以通过测试二者DS之间的电流密度来确定。因为注入后的FIT区域中Ga空位的存在以及原子键能弱,F离子可能会在GaN晶格中扩散并逸出,这会干扰到F离子注入的热稳定性。采用优化的注入后退火工艺可以有效降低FIT-MOS的关态漏电流密度,提高器件的热可靠性。

研究人员比较了R开,sp、BV和漂移层厚度(T漂移)其FIT器件相对于先前报道的垂直GaN晶体管的性能(图3)。将击穿和导通电阻相结合,BV2/R开,spBaliga品质因数(BFOM)给出的值为291MW/cm2,与在更昂贵的天然GaN衬底上制造的器件的价值相当。同时,与如此昂贵的GaN/GaN晶体管(7μm,而1200VBV超过10μm)相比,FIT-MOS具有更薄的漂移层,具有类似的BV性能。

测试结果显示,FIT-MOS呈现增强模式工作特性,阈值电压(VTH)为3.3V,开关电流比约为10⁷,导通电流密度达8kA/cm²,比导通电阻(Ron,sp)为5.6mΩ・cm²,算是比较低的。它的击穿电压(BV)达到了1277V,而对照的MET-MOS只有567V。不过研究团队也指出,因为FIT结构有额外的垂直泄漏路径,FIT-MOS在低漏源电压(VDS)下的关态电流密度比MET-MOS大。

研究团队展示了1200V全垂直Si基GaN沟槽MOSFET,并采用了F离子注入终端结构。其采用了FIT阻性结构带了传统的mesa刻蚀终端结构,有效隔离了器件,消除了终端区域的电场集中,从而将BV从MET-MOS的567V提高了FIT-MOS的1277V。此外,FIT-MOS的Vth为3.3V,ON/OFF比达到了1e7,Ron,sp为5.6mΩ·cm2,通态电流密度为8kA/cm2,这些结果使得垂直Si基GaN晶体管在kV级电力电子应用中奠定了基础。

本文报道了1200V全垂直Si基GaN沟槽MOSFET的氟离子注入终端(FIT)结构,FIT结构取代了通常使用的mesa刻蚀终端,有效地隔离了分立的FIT-MOS,消除了MET-MOS中的电场集中现象,结果表明,该器件的击穿电压为1277V。氟离子注入终止技术为垂直GaN沟道MOSFET在kV级电力系统中的应用提供了广阔的前景。

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发布于:北京市
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